快毕业时，林本坚询问导师求职的方向。由于林本坚以全相学（holograhy）为博士论文，对方建议他循着一本光学月刊背后所登载的赞助公司，一家一家写求职信。爱好摄影的林本坚本来最中意的是柯达（kodak），没想到求职信杳无回音，反而是另外两家—ibmt.j.atsonresearchcenter与贝尔实验室（belbs）找上门来。

起初，林本坚还很纳闷，ibm一个电脑公司需要光学做什么？1970年，林本坚入职后才发现，原来芯片产业所有的零件和芯片都需要光学来做小型和微型化。林本坚自己也没想到一做就是二十二年，谈到ibm的扎实经历，最让林本坚印象深刻的是同事间不吝分享、讨论的氛围。“有什麽想法就可以找同事来谈。同事也会用很oen的态度跟你分享他的看法与知道的资讯。”

尽管如此，林本坚在ibm的道路并非一帆风顺。林本坚早年在ibm半导体部门做深紫外光（euv）光刻研究时，公司的发展主流，却是另一项x光微影科技。不但人力资源远超过他的团队，而且，负责x光微影的主管，同时也是林本坚的顶头上司。他在公司处境之尴尬可想而知。

某天，x光微影技术有了重大进展，他的上司发给每人一件t恤「xrayorks」（x光有用）以资庆贺，林本坚竟是在后面加了3个字，成了「xrayorks–forthedentists」（x光可用，是在牙医诊所），还用磁铁挂在他办公桌后面的文件柜上，昭告所有路过的同事（值得一提的是，深紫外光，成了半导体过去30年的主要光源，xray则至今仍未商用化）。

浸润式微影，从45纳米的世代成为生产半导体的主流，到现在的5纳米，一共经过7个世代，其中有好些曲折的经过。要微影界放弃将近10亿美元的投资，改用浸润式，终究不是一件简单的事！

1987年业界正要准备1000纳米的量产，我帮ibm研发两个世代以后的技术，也就是500纳米；那时还有很多方法可用，不需要浸润式这牛刀。

从1000纳米到750、500、350、250、180、130、90纳米，半导体业者每一代都用了一些巧妙的方法过关。到了65纳米的世代，波长已缩短到193纳米，镜头的孔径也到了0.93，各种有创意的方法已经把同样波长及孔径的解析度增加了超过两倍，很难再有突破。13.4纳米的极紫外光（euv）遥不可及（13.4纳米是当时的认知
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